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溅射薄膜压力传感器的工艺

403次 2017-08-01 返回 >

溅射薄膜压力传感器的工艺
1、前言
溅射薄膜式压力传感器是采用薄膜工艺技术,用离子束溅射工艺取代了传统的胶粘式应变计。克服了由胶粘引起的蠕变,精度低等一系列弊端,使其在长期稳定性,耐高温、高输出阻抗等性能指标得到了极大的提高。所以溅射薄膜压力传感器适合于要求稳定性好,可靠性高或温度范围宽等恶劣条件下的压力参数测量。特别是在航天领域,其应用要极为广泛。
2、溅射薄膜压力敏感元件的结构形式与工作原理
溅射薄膜压力敏感元件是直接在金属弹性体上先制作一层绝缘介质层,再在其上制作金属薄膜,通过溅射、光刻、刻蚀等一系列的工艺形成应变图形(惠斯登电桥)。最后在制作好的敏感元件表面覆盖一层保护层。随着被测压力的变化,弹性体产生变形,电桥感知弹性的应变,产生电阻值变化,通过应变桥的变化测量压力。
         我公司研制的溅射薄膜压力传感器、变送器,产品性能指标和工艺水平在国内处于领先水平。溅射薄膜压力传感器具有的稳定性好,可靠性高、温度范围宽、精度高、漂移小、抗震动、冲击、,耐腐蚀全不绣钢结构等特点被广泛应用于我国国防军工行业。